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引發電漿的電源供應器一般分為直流(DC,DirectCurrent)電源、射頻(RF,...電漿產生的原理與普遍使用在半導體業的一些反應器,後半段介紹的高密度電漿.,由李安平著作—其中由柳克強教授介紹射頻電感偶合放電;寇崇善教...於電漿腔中感應產生一與RF電流反向之電場(E),此...HollowElectrodePlasmaGeneratorswith.,普遍的電漿源則是射頻(RadioFrequency,RF)電漿源。電漿的產生如圖2.1所示,當反應室通入氣體(以經濟因素考量.下,大多採用氬氣),並以交流電壓加於電極時,在較 ...,由彭元宗著作·2005—PECVD製程原理,電漿原理、CVDCleanendp...
電漿反應器與原理 | 合法醫療器材資訊網
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