第一章緒論 | 合法醫療器材資訊網
由彭元宗著作·2005—PECVD製程原理,電漿原理、CVDCleanendpoint介紹、電漿中RFVdcVpp代...430KHZ之RF能量,RF能量由RFGenerator產生,經由導線傳輸至RF.
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