如何選擇適當表面分析儀器XPS.AES.SIMS.AFM.FTIR 抓出製程 ... | 合法醫療器材資訊網

2018年8月29日—近乎隱形的製程問題，奈米等級的表面汙染缺陷，該如何選擇到位的分析方式呢?...Search.首頁技術文庫如何選擇適當表面分析儀器，抓出製程汙染缺陷 ...

宜特發現，一般而言，在尋找製程汙染缺陷上，大部分客戶習慣直接使用掃描電子顯微鏡(SEM)[1]量測汙染物形貌，取得影像，並且利用SEM[2]加裝的X光能量分散光譜儀(EDS)取得後續的成分分析數據。但這個方法用在量測「樣品表面的污染缺陷」是對的嗎?

答案是，有比SEM+EDS更好的選擇工具!

原因在於，透過SEM[3]進行表面分析，為了便於樣品導電，樣品需要鍍金，才能照出清楚的表面汙染物形貌(影像)，然而鍍金後的樣品，卻不利於後續做表面汙染成分分析，只能測到表面鍍金的訊號，無法獲得真正表面汙染物的成分。

因此，建議選擇原子力顯微鏡(AFM)[4]，其原理是靠原子之間的交互作用力(非電子)，不僅可直接掃描汙染物表面訊號，取得清楚的3D立體形貌影像；而後續要用其他工具分析汙染物的成分組成，因樣品不需鍍金導電，也不致受到干擾。

Si晶圓表面汙染物約0.1um尺寸的AFM 觀察2D & 3D影像