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矽甲烷(Silane；SiH4) - 基盤素材 | 合法醫療器材資訊網

矽甲烷(Silane；SiH4) - 基盤素材

矽甲烷(Silane；SiH4).主要用途：乾蝕刻劑、半導體及液晶製造設備用清潔劑 ...

 矽甲烷(Silane；SiH4) - 基盤素材

 

 

基本情報

三井化學在高純度特殊氣體領域中領先業界，我們擁有豐富的聚合、分析技術，活用此經驗，提供客戶高純度、高品質之特殊氣體。

四氟化矽做為高性能光纖之製造原料，也常被使用在半導體製程上。

 

 

特性詳細 因為揮發性較高之故，所以務必要小心使用。

 

 

用途詳細 提供持續進化之電子元件製程用高純度特殊氣體 光纖、層間絶縁膜、乾蝕刻劑、高性能光纖之製造原料、半導體製造用氣體

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