甲矽烷 | 合法醫療器材資訊網

甲矽烷（英語：Silane），也稱甲硅烷、矽甲烷，化學式為SiH4，是一種矽烷；有時也被簡稱為矽烷（勿混淆）。它的結構與甲烷類似，只是用矽取代了甲烷中的碳。

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甲矽烷（英語：Silane），也稱甲硅烷、矽甲烷，化學式為SiH4，是一種矽烷；有時也被簡稱為矽烷（勿混淆）。它的結構與甲烷類似，只是用矽取代了甲烷中的碳。在室溫下，矽烷是一種易燃的氣體，在空氣中，無需外加火源，矽烷就可以自燃。但是有學者認為，矽烷本身是很穩定的，在自然狀態下，是以聚合物的狀態存在的。在超過420攝氏度的環境下，矽烷會分解成矽和氫，因此矽烷可以被用來以薄膜沉積提純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一[5]。

甲矽烷是在1857年由德國化學家海因里希·布夫（Heinrich Buff）和弗里德里希·維勒（Friedrich Wöhler）通過鹽酸和矽化鋁反應發現的。[6]

工業上，多晶塊狀矽首先在攝氏200度置於流床反應器下化合：矽與通入的氯化氫形成三氯矽烷和氫氣。反應式如下：

將經過蒸餾純化的三氯化矽置於有催化劑的resinous bed反應器而產生歧化反應，形成矽烷和四氯化矽。反應式如下：

此反應的催化劑常以金屬鹵化物爲主，尤其是氯化鋁。

甲矽烷會在54 °C（129 °F）下自燃。[7]至今已有多起因甲矽烷洩漏導致的燃燒和爆炸引起的傷亡事故。[8][9][10]