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普通元件的特性、以及普通交錯連結圖形的檢測是以聯合TEG接墊(AssociateTEGPads)透過電性連接TEG元件而進行。然而,將TEG定位在半導體晶片中時,很 ...
543133 發明說明(1) 發明領域 本發明係關於-種半導體裝置,其具有一測試元件組 70 件(Test Element Group,TEG,以下稱為 teg 元件), 其中包括複數之TEG元件;更具體而言,本發明係關於一 種技術,用以將上述TEG元件定位於半導體晶圓上。 習知技術說明: 在半導體晶圓上生產的晶片,隨著微製成技術的發 展,不斷朝向以更密集、更多數量的方式形成於單一半導 體晶圓上的方向成長。這種成長模式帶來生產速度以及成 本的下降。 同時,半導體生產時也逐漸加入TEG元件。這種元件 係用於分析半導體元件的特性,擴散區的缺陷,或者是半 導體晶片的圖案交錯連結。舉例說明TEG :例如在半導體 基板中具有擴散區的電晶體圖案,以及在半導體基板上形 成的父錯連結圖案,這些圖案係用以監視擴普通元件的擴 散步驟或圖案形成步驟,以及半導體晶片的普通交錯連 結。普通元件的特性、以及普通交錯連結圖形的檢測是以 聯合TEG接墊(Associate TEG Pads)透過電性連接TEG元 件而進行。 然而,將TEG定位在半導體晶片中時,很重要的是, 要ά又法不讓元件的尺寸有額外增加的情形。一般而言, TEG元件係放置在晶片的一專區或一限制區域。 習知技術中,TEG元件往往造成元件在尺寸縮小上的
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五、發明說明(2) 障礙,不論TEG元件是設置在上述的專區或限 外,設置在限制區的TEG元件在生產完成後,由則= 的有效檢測。 7G件特性4 發明概述 本發明的目的旨在提供一種具有TEG元 二用,該元件可以有效地進行元件電性特性的以丰二,
ί= 於擴散/序或圖案形成程序所產生的缺陷;並且, 上述TEG於70件在實質上不會增加半導體晶片的尺寸。 本發明之另一特徵為提供一種半導體晶圓,於生產这 程中設置有上述的半導體晶片。 垃私ί!明提供一種半導體晶片,其中包括普通元件、達 ,曰通疋件的接線塾、以及至少一TEG元件,設置於 線塾下。
•本發明更提供一種半導體晶圓,...
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