轉載:ICP工藝的基本原理是什麼@ Chinganchen的部落格 | 合法醫療器材資訊網

由 李安平 著作 — 於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場(E)，此. 電場加速 ... 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之 ... Hollow Electrode Plasma Generators with. Read More

普遍的電漿源則是射頻（Radio Frequency, RF）電漿源。 電漿的產生如圖2.1所 ... 其中原子力顯微鏡的原理是使用有銳利尖端的探針詳細掃瞄樣. 品的表面，探針 ... Read More

本發明係關於射頻訊號(radio frequency；RF)產生器之包絡功率(envelope ... 應該理解的是，在不改變本揭露的原理的情況下，方法中的步驟可以依照不同的順序被 ... and frequency control of a radio frequency generator from an external source. Read More

由 彭元宗 著作 · 2005 — PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代 ... 430KHZ 之RF 能量，RF 能量由RF Generator 產生，經由導線傳輸至RF. Read More

電漿源系統( power source )：包含RF功率產生器(RF generator)及阻抗匹配箱(​match box) 2. 感應線圈組態：安置在一反應腔之側壁外，並由至少一對線圈單元彼此 ... Read More

Junsun offers CERES RF power generators and automatic matching networks for sputtering and plasma applications. Read More

鍍機，機台包含兩個直流濺鍍(DC-Sputter)和一個射頻濺鍍(RF ... 2-1-3 濺鍍原理[​10] ... generator) 、訊號分析器(Signal analyzer) 、頻譜分析儀(Spectrum. Read More

下圖我們要看在rf-driven 電容式的低壓放電，前面曾談論過的CF. 4 ... 操作原理已十分清楚：the mobile plasma e-, responding to the instantaneous produced ... RF generator之輸出阻抗都設計在50Ω，然而輝光放電之阻抗往往高出此值許多，​隨製. Read More

這個就是etch 的三國鼎立。 ICP: Inductively coupled plasma. An RF induction plasma helical resonator consists of a cylindrical quartz chamber with an antenna​ ... Read More

2012年10月25日 — 电浆原理for ASE Trainning - 電漿原理介紹簡報Presented By Woody 10/02 ... 市面上常見之RF Generator 設計之輸出端阻抗通常為50Ω，而負荷 ... Read More