電漿製程技術講義 | 合法醫療器材資訊網

下圖我們要看在rf-driven電容式的低壓放電，前面曾談論過的CF.4...操作原理已十分清楚：themobileplasmae-,respondingtotheinstantaneousproduced...RFgenerator之輸出阻抗都設計在50Ω，然而輝光放電之阻抗往往高出此值許多，隨製.

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電漿源原理與應用之介紹 | 合法醫療器材資訊網

由李安平著作 — 於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場(E)，此. 電場加速 ... 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之 ... Hollow Electrode Plasma Generators with. Read More

第一章、緒論 | 合法醫療器材資訊網

普遍的電漿源則是射頻（Radio Frequency, RF）電漿源。電漿的產生如圖2.1所 ... 其中原子力顯微鏡的原理是使用有銳利尖端的探針詳細掃瞄樣. 品的表面，探針 ... Read More

TWI446708B | 合法醫療器材資訊網

本發明係關於射頻訊號(radio frequency；RF)產生器之包絡功率(envelope ... 應該理解的是，在不改變本揭露的原理的情況下，方法中的步驟可以依照不同的順序被 ... and frequency control of a radio frequency generator from an external source. Read More

第一章緒論 | 合法醫療器材資訊網

由彭元宗著作 · 2005 — PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代 ... 430KHZ 之RF 能量，RF 能量由RF Generator 產生，經由導線傳輸至RF. Read More

創新研發 | 合法醫療器材資訊網

電漿源系統( power source )：包含RF功率產生器(RF generator)及阻抗匹配箱(match box) 2. 感應線圈組態：安置在一反應腔之側壁外，並由至少一對線圈單元彼此 ... Read More

射頻電源供應器RF Generator | 合法醫療器材資訊網

Junsun offers CERES RF power generators and automatic matching networks for sputtering and plasma applications. Read More

第二章、實驗儀器架構與基本原理 | 合法醫療器材資訊網

鍍機，機台包含兩個直流濺鍍(DC-Sputter)和一個射頻濺鍍(RF ... 2-1-3 濺鍍原理[10] ... generator) 、訊號分析器(Signal analyzer) 、頻譜分析儀(Spectrum. Read More

電漿製程技術講義 | 合法醫療器材資訊網

下圖我們要看在rf-driven 電容式的低壓放電，前面曾談論過的CF. 4 ... 操作原理已十分清楚：the mobile plasma e-, responding to the instantaneous produced ... RF generator之輸出阻抗都設計在50Ω，然而輝光放電之阻抗往往高出此值許多，隨製. Read More

轉載:ICP工藝的基本原理是什麼@ Chinganchen的部落格 | 合法醫療器材資訊網

這個就是etch 的三國鼎立。 ICP: Inductively coupled plasma. An RF induction plasma helical resonator consists of a cylindrical quartz chamber with an antenna ... Read More

电浆原理for ASE Trainning | 合法醫療器材資訊網

2012年10月25日 — 电浆原理for ASE Trainning - 電漿原理介紹簡報Presented By Woody 10/02 ... 市面上常見之RF Generator 設計之輸出端阻抗通常為50Ω，而負荷 ... Read More

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