工研院與德山攜手研發晶圓製程原物料檢測技術 | 合法醫療器材資訊網

2021年3月16日—記者洪友芳／新竹報導〕護國神山台積電（2330）大舉投資擴產，吸引日本半導體化學品供應商德山（Tokuyama）來台投資設廠，德山進一步與工研院攜手合作 ...

工研院攜手日本半導體化材製造商德山株式會社（Tokuyama）共同研發半導體用原物料即時品質檢測技術，透過臺日間的國際合作，為晶圓廠下世代微縮製程超前部署。（業者提供）

〔記者洪友芳／新竹報導〕護國神山台積電（2330）大舉投資擴產，吸引日本半導體化學品供應商德山（Tokuyama）來台投資設廠，德山進一步與工研院攜手合作優化晶圓製程原物料的檢測技術，希望能藉由合作供應臺灣半導體製造商製程原物料的品質管控技術，提高原物料純度與品質，有助提高半導體元件微小化時的產品良率，臺日國際合作為晶圓廠下世代微縮製程展開超前部署。

台積電大舉投資往先進製程發展，吸引半導體化學材料相關廠商紛來台投資設廠，以就近供應大客戶需求。日本德山化學去年下半年與台塑合資成立台塑德山精密化學，預計在高雄林園投資蓋廠，生產晶圓代工製程所需清洗溶劑的電子級IPA（異丙醇），主要供應5、3奈米及更先進製程的需要。

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德山日前與工研院線上簽約檢測技術合作，工研院量測技術發展中心執行長林增耀表示，自2018年起工研院就與日商德山進行交流，在評估臺灣半導體創新研發製程廠商的優勢後，德山看準工研院擁有先進半導體奈米級品質檢測技術，與工研院攜手優化晶圓製程原物料的檢測技術，希望能藉由合作供應臺灣半導體製造商製程原物料的品質管控技術，提高原物料純度與品質，有助提高半導體元件微小化時的產品良率，將工研院的量測技術拓展至國際半導體量測市場。

德山株式會社取締役常務執行役員岩崎史哲指出，德山成立近百年，事業領域涵蓋化學、特殊產品、水泥及醫療相關產品，此次因應半導體產業需求，與工研院展開長期合作，共同進行半導體用原物料即時品質檢測技術研發。以工研院所擁有之先進半導體奈米級檢測技術，結合德山半導體化學材料相關產品技術，開發半導體產業所需的前瞻量測技術，期許共同創造半導體產業更先進製程微細化的技術藍圖，滿足客戶需求的實際運用，提升臺灣半導體產業的國際競爭力。

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