冷凍幫浦 | 合法醫療器材資訊網
冷凍幫浦式利用超低溫的物理機制來吸附真空腔體內的氣體,以達到抽氣的效果。其抽氣機制分為:超低溫冷凝(cryocondensation)、超低溫吸附(cryosorption)及超低溫 ...
渦輪分子真空幫浦主要用於需要乾淨的高真空或超高真空的應用,例如用於核子融合研發,或是用於鍍膜產業和分析儀器等工業領域。
原則上,渦輪分子幫浦是一個在機殼中快速旋轉的渦輪,其中渦輪的各級配備有許多轉子葉片。位於旋轉轉子葉片之間的是靜止的定子盤,其葉片排列在相反的方向。
透過將動力從旋轉轉子葉片轉移到氣體分子,氣體分子最初的非定向熱運動變而為從幫浦的入口法蘭沿軸向朝前置真空法蘭的方向運動。
在分子流量範圍中 (亦即在低於 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的壓力下),氣體分子的平均自由路徑大於轉子和定子葉片之間的間隔 (通常為十分之幾公釐)。相對地,分子主要與光密轉子葉片發生碰撞,從而產生高效的抽氣動作。在層流範圍 (恆定) (即超過 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的壓力),轉子的作用會因為分子本身經常發生碰撞而受阻。
因此,渦輪分子幫浦無法在大氣壓力下抽送氣體。
Chapter 3 產生真空的辦法第一節真空幫浦真空幫浦的分類真空 ... | 合法醫療器材資訊網
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