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2020年12月29日 — 阻抗匹配(Impedance matching)是指為了使信號功率能從信號源（source）到負載（load）得到最有效的傳遞，即信號在 ... 為電子學中的最大直流功率傳遞原理. Read More

rf match工作原理,帶電粒子的移動. • RF電場快速變換，電子能快速地加速，而離. 子反應很慢. ... 電漿中電子的移動比離子快得 ... , RF Matching 史密斯圖匹配，只需要... Read More

RF Matching Box乃用於RF產生器及反應室間，保護與控制反應室得到最佳的功率轉移的一種裝置。由於型阻抗匹配構造太過於複雜及控制不易，一般在電感耦合式電漿(Inductively- ... Read More

射頻阻抗匹配器(RF Matching Box)是電漿設備中的主要零組件之一，它的效能可以決定製程 ... 電路所應用的原理，以達到現行傳統RF Matching Box之功能外，並提高附加功能。 Read More

2016年6月28日 — 阻抗匹配（Impedance matching）是微波电子学里的一部分，主要用于传输线上，来达至所有高频的微波信号皆能传至负载点的目的，几乎不会有信号反射回 ... Read More

... 之零組件模組-阻抗匹配器(Matching box)，主要研發項目包含(a) 射頻阻抗匹配器 ... 在相位/振幅偵測器的偵測原理上，是偵測反射信號上的實部與虛部變化，並反應出 ... Read More

由 彭元宗 著作 · 2005 — PECVD 製程原理, 電漿原理、CVD Clean endpoint 介紹、電漿中RF Vdc Vpp 代 ... Matching box 內包含了兩個由馬達控制之可變電容及一個固定電感，如下. Read More

論文名稱(英文), Study on Modified Dynamic Tuning Mechanism for Matching Box Using in Plasma Chamber System. 校院名稱, 成功大學 ... 第二章 動態阻抗匹配原理 9 Read More

... 都會搭Matching Box， 想問大家，為什麼RF 都要搭Matching Box， ... 要跟Matching Box， 它是利用什麼原理，最好可以說明Matching Box 的tune ... Read More