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通過加大加速電壓，電子攜帶的能量增大，則有可能將金屬原子的內層電子撞出。​於是內層形成電洞，外層電子躍遷回內層填補電洞，當原子外層電子移向內層電子空 ...

XRF原理 （XRF）儀器由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X 射線（一次射線），激勵被測樣品。樣品中的每一種元素會放射出的二次X射線，並且不同的元素所放出的二次射線具有特定的能量特性。探測系統測量這些放射出來的二次射線的能量及數量。然後，儀器軟體將控測系統所收集的資訊轉換成樣品中的各種元素的種類及含量。利用X射線螢光原理，理論上可以測量元素週期表中的每一種元素。在實際應用中，有效的元素測量範圍為11號元素（鈉Na）到92號元素（鈾U）。