XRF分析- X-RAY膜厚測試原理(EX-731、FD | 合法醫療器材資訊網
X射線螢光的物理原理...當材料暴露在短波長X光檢查,或伽瑪射線,其組成原子可能發生電離,.如果原子是暴露於輻射與能源大於它的電離勢,足以驅逐內層軌道的 ...
X射線螢光光譜儀(X-ray Fluorescence Spectrometer,簡稱:XRF光譜儀)
是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。
使用型態
XRF 用 X光[1]或其他激發源照射待分析樣品,樣品中的元素[2]之內層電子被擊出後,
造成核外電子的躍遷,在被激發的電子返回基態[3]的時候,會放射出特徵 X 光;
不同的元素會放射出各自的特徵 X 光,具有不同的能量或波長特性。
檢測器(Detector)接受這些 X 光,儀器軟體系統將其轉為對應的信號。
這一現象廣泛用於元素分析和化學分析,特別是在研究金屬[4],玻璃[5],陶瓷[6]和建築材料,
以及在地球化學研究、法醫學、電子產品進料品管(EU RoHS)和考古學等領域,
在某種程度上與原子吸收光譜儀互補,減少工廠附設的品管實驗室之分析人力投入。
X射線螢光的物理原理
當材料暴露在短波長 X 光檢查,或伽瑪射線,其組成原子可能發生電離,[7]
如果原子是暴露於輻射與能源大於它的電離勢,足以驅逐內層軌道的電子,[8]
然而這使原子的電子結構不穩定,在外軌道的電子會「回補」進入低軌道,以填補遺留下來的洞。
在「回補」的過程會釋出多餘的能源,光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。
因此,物質放射出的輻射,這是原子的能量特性。
----------------------轉載自維基百科
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