XRF分析- X-RAY膜厚測試原理(EX-731、FD | 合法醫療器材資訊網

X射線螢光的物理原理...當材料暴露在短波長X光檢查，或伽瑪射線，其組成原子可能發生電離，.如果原子是暴露於輻射與能源大於它的電離勢，足以驅逐內層軌道的 ...

X射線螢光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer，簡稱：XRF光譜儀）

是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。

XRF 用 X光[1]或其他激發源照射待分析樣品，樣品中的元素[2]之內層電子被擊出後，

造成核外電子的躍遷，在被激發的電子返回基態[3]的時候，會放射出特徵 X 光；

不同的元素會放射出各自的特徵 X 光，具有不同的能量或波長特性。

檢測器(Detector)接受這些 X 光，儀器軟體系統將其轉為對應的信號。

這一現象廣泛用於元素分析和化學分析，特別是在研究金屬[4]，玻璃[5]，陶瓷[6]和建築材料，

以及在地球化學研究、法醫學、電子產品進料品管（EU RoHS）和考古學等領域，

在某種程度上與原子吸收光譜儀互補，減少工廠附設的品管實驗室之分析人力投入。

當材料暴露在短波長 X 光檢查，或伽瑪射線，其組成原子可能發生電離，[7]

如果原子是暴露於輻射與能源大於它的電離勢，足以驅逐內層軌道的電子，[8]

然而這使原子的電子結構不穩定，在外軌道的電子會「回補」進入低軌道，以填補遺留下來的洞。

在「回補」的過程會釋出多餘的能源，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。

因此，物質放射出的輻射，這是原子的能量特性。

----------------------轉載自維基百科

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