In-situ膜厚测量1（SF-3） | 合法醫療器材資訊網

自90奈米節點以來，採用以原位摻雜(in-situ doping)的應變選擇性磊晶薄膜(​strained selective epi film)，就可改善電子遷移率並降低PMOS電晶體內的電阻，​提升 ... Read More

In situ是一個拉丁文片語，字面上的意思是指「在原本位置」，於不同領域中有不同用法，包括航天學、考古學、建築學、生物學、法律、文學、天文學、化學、 ... Read More

就我的理解，in-situ指的是正在發生中、連續觀察狀態而ex-situ則是除in-situ以外的狀態舉個XRD的例子來說， 在一個升溫過程中，你可以用XRD ... Read More

本研究將專注於利用400oC以下溫度製程製備高效能電晶體，因此離子佈值製程必須減少到最低，以內摻雜(in-situ doping)磊晶技術取代，開始研發下一世代磊晶機 ... Read More

ex-situ 非原位. fpheonixes. 是不是指实时测量啊，在做半导体process时，in-situ​就是指实时测量． pillarwang. 在超导领域： in－situ 原位 ex－situ 先位（非原位）​. Read More

由 粘文評 著作 · 2009 — 工學院半導體材料與製程設備學程. 關鍵字: 臨場蒸氣產生技術(ISSG);鎢奈米點;非揮發性記憶體;In-Situ Steam Generation;Tungsten Nanocrystal;Nonvolatile ... Read More

論文名稱: 半導體製程中晶圓表面溫度及薄膜成長率與折射率之即時監控系統開發. 論文名稱(外文):, Development of In-situ Monitoring System for the Surface ... Read More

在晶圆研磨工程中，需要在过程中实时并非接触式测量晶圆厚度。SF-3把研磨中测量的厚度数据送信到研磨设备里。研磨设备会根据得到的厚度数据在到达目标厚度 ... Read More

MOCVD半導體製程即時監控系統Speaker: Ju-Yi Lee Department of ... An in-situ monitoring system for MOCVD process • Performance(compared with ... Read More