準分子雷射 | 合法醫療器材資訊網
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準分子雷射(英文:Excimer laser)是一種紫外氣態雷射,處於激發態的惰性氣體和另一種氣體(惰性氣體或鹵素)結合的混合氣體形成的分子,向其基態躍遷時發射所產生的雷射,稱為準分子雷射。
準分子雷射屬於低能量雷射,無熱效應,是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈衝雷射,光子能量波長範圍為157-353奈米,脈衝時間為幾十奈秒,屬於紫外光。最常見的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。
準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態,由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的(比如稀有氣體)。如果兩種原子都處於基態,它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處於激發態,它們之間就能夠暫時形成化學鍵。儘管這種化學鍵的壽命往往非常短,只在奈秒的量級。準分子可以通過自發輻射或受激輻射,釋放出光子回到基態,基態的分子更加不穩定,經過幾個皮秒的時間,衰變成兩個未成鍵的原子。
準分子雷射由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人於1970在莫斯科物理研究所發明。使用電子束激發氙氣二聚體,產生的準分子雷射波長為172nm。[1]
1975年包括美國政府的海軍研究實驗室[2]、諾思羅普研究和技術中心[3],Avco Everett研究實驗室[4],和美國桑迪亞國家實驗室[5]在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產出第一台商業用準分子雷射器。
迄今為止已經發現的能夠產生準分子雷射的氣體有10多種。
常見的準分子及其波長[編輯]準分子雷射的波長取決於所用的氣體,一般處於紫外光波段。
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