Applied Varian VIISta ® 900 3D | 合法醫療器材資訊網
TheVarianVIISta9003DsystemsucceedstheVarianVIISta900XPTastheindustry'sflagshipmedium-currentionimplanterforhigh-volumemanufacturing.
The Varian VIISta 900 3D system is the industry’s flagship medium-current ion implanter for high-volume manufacturing beyond the 2xnm node. Its beam-line architecture has been specially designed with the angle accuracy and beam shape control necessary for exact dopant placement and minimal within-wafer and wafer-to-wafer variability for applications in logic finFETs and 3D memory structures. These capabilities also benefit CMOS image sensor technology as well as the most advanced planar structures. [1][2][3][4]
The system leverages the proven world-class particle performance of the VIISta platform beam-line architecture. A filter magnet removes the majority of unwanted implant species right at the source. Triple-magnet architecture delivers the cleanest beam line available among medium-current systems, removing beam-borne metals, particles, cross-speci...
Applied Varian VIISta ® 900 3D | 合法醫療器材資訊網
Applied Varian VIISta ® Trident | 合法醫療器材資訊網
Varian Ion Implant | 合法醫療器材資訊網
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VIISta® HCP | 合法醫療器材資訊網
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【“雷普”光束病患定位指示器 (未滅菌)】許可證字號:衛署醫器輸壹字第005776號
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【“司諾維思”神經環管】許可證字號:衛部醫器輸字第026199號
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【“安睿”輸液系統】許可證字號:衛部醫器輸字第030803號
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【“瓦里安” 呼吸閘控系統】許可證字號:衛部醫器輸字第027437號
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