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(1).超音波係由壓電振動子的震盪產生，當超音波導入液體中時，隨著音波週期性的變化會造成音波 ...

(2).音波空泡的成長尺寸與超音波頻率有關，當音波頻率較低時，由於正負週期變化時間變長，因此生成的音波空泡數量會較少，但會成長至較大尺寸時才發生爆破，所以較低頻其超音波之爆破能量較強烈。液體使用低頻超音波震盪時，音波空泡生成後有足夠時間成長，因此音波空泡群爆破時會產生較強烈的微小噴射液滴(Micro-Jet)及衝擊波(Shockwaves)，伴隨產生局部的高壓及高熱。

(4).高頻超音波(約1MHz)生成之空泡尺寸較小數量較多，於爆破時主要生成衝擊波，且大多沒有微小噴射液滴產生。在高頻的超音波震盪處理中，除衝擊波以剪力刮刷被清洗物表面作去除污染粒子外，並不會造成音波空泡沖蝕固體表面的不利影響，因此甚適合用於要求表面高品質的元件清洗上。此外，由於高頻超音波震盪處理所產生的微小空泡可鑽入微裂隙或細小盲孔且所生成的音波空泡半徑愈小。因此對於微小的污物層處理更為有效。當超音波頻率提高至1MHz 時，由於音波半週期過短(約0.5µs)，故音波空泡的爆破僅產生衝擊波而沒有微小噴射液滴發生，此時衝擊波的刮擦作用甚適合用於除去微小顆粒而不傷害試件表面，例如半導體元件的洗淨處理。