掃描電子顯微鏡 | 合法醫療器材資訊網

掃描電子顯微鏡（英語：ScanningElectronMicroscope，縮寫為SEM），簡稱掃描電鏡，是一種電子顯微鏡，其通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產生樣品表面 ...

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掃描電子顯微鏡（英語：Scanning Electron Microscope，縮寫為SEM），簡稱掃描電鏡，是一種通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產生樣品表面圖像的電子顯微鏡。

顯微鏡電子束通常以光柵掃描圖案掃描。電子與樣品中的原子交互作用，產生包含關於樣品的表面測繪學形貌和組成的資訊的各種信號，信號與光束的位置組合而產生圖像。掃描電子顯微鏡可以實現的解析度優於1奈米。樣品可以在高真空，低真空，濕條件（用環境掃描電子顯微鏡）以及寬範圍的低溫或高溫下觀察到。

最常見的掃描電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發的原子發射的二次電子（secondary electron）。可以檢測的二次電子的數量，取決於樣品測繪學形貌，以及取決於其他因素。通過掃描樣品並使用特殊檢測器收集被發射的二次電子，創建了顯示表面的形貌的圖像。它還可能產生樣品表面的高解析度圖像，且圖像呈三維，鑑定樣品的表面結構。

掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像系統。