實現綠色製造,十二吋晶圓廠TMAH削減量達成年度目標 | 合法醫療器材資訊網
台積公司繼民國101年領先業界建造「氫氧化四甲基銨(TMAH)回收再利用...年更進一步強化管理系統,投注大量廠務人才與時間,並透過與三福化工與長春化工 ...
實踐循環經濟,達成環境零衝擊是台積公司念茲在茲的綠色製造目標。台積公司繼民國101年領先業界建造「氫氧化四甲基銨(TMAH)回收再利用系統」,民國108年進一步將系統從「高濃度回收」向「低濃度全處理」推進。經大量實廠測試,成功開發適用各種水質的處理方法,十二吋晶圓廠TMAH平均濃度已穩定維持低於8ppm水準,遠優於法規60ppm規範;相較民國101年回收系統建置初期削減幅度高達73%,達成民國108削減量的永續目標。
台積公司優化TMAH處理改善流程台積公司建立業界最嚴格的廢水分類管理系統,每年透過上千筆組合系統參數調校與各類樹脂種類測試,持續提升系統穩定度與處理效能。民國108年更進一步強化管理系統,投注大量廠務人才與時間,並透過與三福化工與長春化工的異業合作,評估各種水質與樹脂種類特性、調查分析原物料使用與機台排放情形,以不間斷的測試找出各晶圓廠最佳處理曲線,制定出「全面收集、精煉再生、二次處理」三大削減策略。
策略一:全面收集,納入機台低濃度清洗水民國108年間,台積公司進一步集中處理低濃度廢液(<1,000ppm),規劃專管回收機台清洗水至TMAH 系統處理,取代原本的直接放流。
策略二:精煉再生程序,降低樹脂塔再生廢液濃度半導體業一般多以陽離子樹脂塔吸附TMAH,吸附飽和後由強酸進行再生,再生後的高濃度廢液由協力廠商進行回收,低濃度則調配放流,此為廢水中的TMAH濃度主要來源。台積公司經過反覆測試,納入氣混洗功能改良再生程序,由氣體壓出再生廢液,提升清洗效率,有效降低90%清洗後廢液濃度。
策略三:二次處理,回收樹脂塔再生廢液樹脂塔再生過程中低濃度TMAH 酸液,因含硫酸根離子(SO42-)無法重新吸附,過去多直接排放至廢水中。台積公司民國108年強化系統,將再生廢液導入陰離子樹脂塔去除硫酸根離子後,即可重新導回陽離子樹脂塔進行有效吸附處理,進一步降低TMAH總排放濃度。
穩健邁向環境零衝擊目標目前台積公司全部十二吋晶圓廠已趨近TMAH零...
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