產業:ASML收購德國蔡司半導體,將攜手開發下世代EUV高 ... | 合法醫療器材資訊網
2016年11月4日—【財訊快報/李純君報導】全球半導體產業購併風潮大起,微影技術領導廠商艾司摩爾(ASML),宣布以10億歐元現金收購德國卡爾蔡司(ZEISS)子 ...
【財訊快報/李純君報導】全球半導體產業購併風潮大起,微影技術領導廠商艾司摩爾(ASML),宣布以10億歐元現金收購德國卡爾蔡司(ZEISS)子公司蔡司半導體(Carl Zeiss SMT)24.9%股份。這是繼ASML以千億元台幣收購電子束檢測設備廠漢微科(3658)後,ASML另外一樁大型收購案,而ASML也提到,將與蔡司半導體合作開發用於下一代EUV系統的全新高數值孔徑(High NA)光學系統。
Carl Zeiss SMT是ASML最重要的長期策略合作夥伴,30多年來,為ASML的微影設備提供光學系統。為了在2020年代初期就能夠讓晶片製造產業使用搭載全新光學系統的新一代EUV微影設備,ASML和Carl Zeiss SMT決定進一步強化合作關係,但雙方並沒有進一步股權交換的計畫。
ASML總裁暨執行長Peter Wennink表示:「全球第一個由EUV微影設備製造出來的晶片可望於2018年問世。過去多年來我們做了許多努力,確保能將EUV順利導入客戶的量產階段,並和我們的浸潤式微影系統緊密連接。我們即將達到這個重要的里程碑。而現在,ASML和ZEISS展望的是下一個階段。透過這個協議,我們將共同全力發展下一代EUV光學系統,讓我們的客戶能夠在2020年後的10年間,充分回收他們在EUV上的投資。」
下一代的EUV光學系統將提供更高的數值孔徑(NA, numerical aperture),以進一步縮小微影製程中的臨界尺寸(critical dimensions)。ASML目前的EUV微影系統搭載的是0.33 NA的光學系統。而新一代的EUV微影系統則將搭載NA 0.5以上的光學系統,可以進一步支援3奈米以下製程。
除了協議由ASML持有Carl Zeiss SMT少數股權外,ASML也將在未來六年內,投資約2.2億歐元來支援Carl Zeiss SMT在光學微影技術上的研發,以及約5.4億歐元的資本支出和其他相關供應鏈投資。 ASML總裁暨技術長Martin van den Brink表示:「提高數值孔徑(NA, n...
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