Varian VIISta® Trident | 合法醫療器材資訊網
VarianVIISta®Trident.隨著晶片設計的日益複雜,所需的離子植入的步驟亦相對增加。今日,具有嵌入式記憶 ...
此系統系採用 VIISta 高電流離子植入平台經生產驗證的單晶圓架構,為能量純化、均勻度以及角度和劑量率控制建立全新標準,提供高產能和最高生產力,符合先進的節點需求。
Trident 平台結合雙磁鐵帶狀束流架構和創新的能量純化模組[1] (EPM),提供受控制的精準植入輪廓。能量純化模組 (EPM) 亦可有效過濾光束線[2]元素所產生的微粒,將晶圓與污染物有效隔離。VIISta Trident 平台是唯一可測量和修正束流角度的高電流系統,方法是採用獨特的閉迴路控制系統,提供高準確性和可重複性的入射角控制,達到真正零度角和精準的高傾斜角度植入。
References 能量純化模組 (www.appliedmaterials.com) 光束線 (www.appliedmaterials.com)Varian VIISta® Trident | 合法醫療器材資訊網
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